用途

该系统是用于配制常温下是气态的多组份标准气体,应用广泛,可用于传感器多点校准等研究。

系统构成

本系统主要由以下部分组成:

两组份动态配气系统

计算机与操作软件(也可以用LED触摸屏,那就不需要配计算机和软件部分)

系统各部分组成如下:

两组份动态配气系统

该系统运用目前国际上最先进的测量和控制技术,设备稳定可靠,配制精度高。全自动化控制,操作简单可靠。设备集成在一个机箱内。外观简洁,美观。主要设备包括:质量流量控制器,单向阀,截止阀,气体混合管路等。由于存在甲烷,乙烷,乙烯,乙炔等易燃易爆危险性介质。配气系统设计气路和电路控制部分分开安装,同时在可能存在可燃性气体泄漏的地方安装风扇,通过风扇保证空气流通,防止可燃气聚集。保证系统和人员的安全。

系统设计为两组份配气方式,其中一路为稀释气,其他一路为源气,气源采用标准瓶气。

该系统配置2个美国原装进口质量流量控制器,可实现2个组份气体混合配比。

系统数据库内有多达四五十种气体,使用时通过计算机直接调取选择。

混合气体最大流量:≈ 2 L/min。

配气通道:2路

主要设备清单

1.气体质量流量控制器(美国MFC)

1)N2   Range:0～2000mL/min

源气  Range:0～500mL/min

2)精确度:±1%

3)密封:Viton(耐高温氟素橡胶)

4)响应时间:1…2seconds

5)重复性:< ±0.2% Rd

6)量程比:1:50(数字模式为:1:187.5)

7)泄漏率: tested < 2 x 10-9 mbar L/s He

8)电源:+15…24VDC@320mA

9)使用温度:-10…70 ℃

10)压力灵敏度:0,1% Rd/bar typicaL N2; 0,01% Rd/bar typicaL H2

11)温度灵敏度:Zero:<0.05% Rd /℃; Span:<0.05%Rd/℃

12)输出:4…20mA and RS-232

2.气路

整个系统气路均采用防腐防吸附的内表面抛光处理聚四氟乙烯管

3.转子流量计

方便使用,配制出来多余的气体可以通过调节转子流量计直接排出

4.计算机及系统软件

1)配气系统通过触摸屏操作。

2)两组份配气软件

配气系统根据要求,可以设置钢瓶和对应的端口。并可以通过流量模式和浓度模式配气。通过软件自动计算,气体质量流量控制器自动调节控制气体流量,以实现气体配比浓度要求。